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Selective Epitaxial Deposition of Silicon

Selective Epitaxial Deposition of Silicon

JOYCE, B. D.; BALDREY, J. A.
  • 期刊名称Nature
  • 作者JOYCE, B. D.; BALDREY, J. A.
  • 卷第195卷
  • 期第4840期
  • 印刷ISSN0028-0836
  • 文件大小291.55KB
  • 发表时间1962-8-4
  • DOI10.1038/195485a0
  • 页码485-486
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