Errors in surface topography measurements with high aperture interference microscopes

• 期刊名称Journal of Scientific Instruments
• 作者Mykura, H; Rhead, G E
• 卷第40卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0950-7671
• 文件大小500.13KB
• 发表时间1963-06
• DOI10.1088/0950-7671/40/6/312
• 页码313-315