Scanning electron mirror microscopy and scanning electron microscopy of integrated circuits

• 作者Cline, J.E.; Morris, J.M.; Schwartz, S.
• 卷第16卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0018-9383
• 电子ISSN1557-9646
• 文件大小744.14KB
• 发表时间1969
• DOI10.1109/t-ed.1969.16759
• 页码371-375