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Thermal oxidation of polycrystalline silicon films

Thermal oxidation of polycrystalline silicon films

T. I. Kamins; E. L. MacKenna

作者T. I. Kamins; E. L. MacKenna
卷第2卷
期第8期
印刷ISSN1073-5615
电子ISSN1543-1916
文件大小661.48KB
发表时间1971-08
DOI10.1007/bf02917568
页码2292-2294

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