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The Anodic Oxidation of Silicon Nitride Films on Silicon

The Anodic Oxidation of Silicon Nitride Films on Silicon

Tripp, Terrance B.

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Tripp, Terrance B.
卷第117卷
期第2期
印刷ISSN0013-4651
文件大小324.57KB
发表时间1970
DOI10.1149/1.2407457

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