MEMS/MOEMS foundry services at INO
S. García-blanco; S. Ilias; F. Williamson; F. Généreux; L. Le Noc; M. Poirier; C. Proulx; B. Tremblay; F. Provençal; Y. Desroches; J. Caron; C. Larouche; P. Beaupré; B. Fortin; P. Topart; F. Picard; C. Alain; T. Pope; H. Jerominek; H. P. Schriemer; R. N. Kleiman
- 作者S. García-blanco; S. Ilias; F. Williamson; F. Généreux; L. Le Noc; M. Poirier; C. Proulx; B. Tremblay; F. Provençal; Y. Desroches; J. Caron; C. Larouche; P. Beaupré; B. Fortin; P. Topart; F. Picard; C. Alain; T. Pope; H. Jerominek; H. P. Schriemer; R. N. Kleiman
- 文件大小9612.53KB
- DOI10.1117/12.873078