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ChemInform Abstract: KINETICS OF THERMAL GROWTH OF HCL-O2 OXIDES ON SILICON

ChemInform Abstract: KINETICS OF THERMAL GROWTH OF HCL-O2 OXIDES ON SILICON

HIRABAYASHI, K.; IWAMURA, J.

期刊名称Chemischer Informationsdienst
作者HIRABAYASHI, K.; IWAMURA, J.
卷第5卷
期第5期
印刷ISSN0009-2975
文件大小135.22KB
发表时间1974-02-05
DOI10.1002/chin.197405040

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