Tungsten metallization for LSI applications.: R S Wagner et al, J Vac Sci Technol, 11 (3), 1974, 582–590.

• 卷第25卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0042-207X
• 文件大小191.65KB
• 发表时间1975
• DOI10.1016/0042-207x(75)91181-1