Simple Optical Devices for Detection of Radiofrequency Oxygen Plasma Stripping of Photoresists

• 期刊名称as/31/1/as-31-1-40.pdf
• 作者Degenkolb, E. O.; Griffiths, J. E.
• 卷第31卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0003-7028
• 文件大小285.02KB
• 发表时间1977
• DOI10.1366/000370277774463193
• 页码40-42