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ChemInform Abstract: FILM-SUBSTRATE INTERACTION IN SILICON TANTALUM AND SILICON TANTALUM OXIDE STRUCTURES

ChemInform Abstract: FILM-SUBSTRATE INTERACTION IN SILICON TANTALUM AND SILICON TANTALUM OXIDE STRUCTURES

REVESZ, A. G.; KIRKENDALL, T. D.
  • 期刊名称Chemischer Informationsdienst
  • 作者REVESZ, A. G.; KIRKENDALL, T. D.
  • 卷第8卷
  • 期第5期
  • 印刷ISSN0009-2975
  • 文件大小119.29KB
  • 发表时间1977-02-01
  • DOI10.1002/chin.197705039
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