Dithered-beam metrology
- 期刊名称ao/17/24/ao-17-24-3865.pdf
- 作者Tang, C. L.; Levin, K. H.; Gammel, J.; Ballantyne, J. M.
- 卷第17卷
- 期第24期
- 印刷ISSN0003-6935
- 电子ISSN1539-4522
- 文件大小534.37KB
- 发表时间1978
- DOI10.1364/AO.17.003865
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