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Defect flow induced outdiffusion in the Al → Zn implantations

Defect flow induced outdiffusion in the Al → Zn implantations

J. Hirvonen; A. Anttila; M. Hautala

作者J. Hirvonen; A. Anttila; M. Hautala
卷第66卷
期第3期
印刷ISSN0375-9601
文件大小260.36KB
发表时间1978
DOI10.1016/0375-9601(78)90665-5
页码226-228

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