Spatial light modulator for maskless optical projection lithographyG. P. Watson; V. Aksyuk; M. E. Simon; D. M. Tennant; R. A. Cirelli; W. M. Mansfield; F. Pardo; D. O. Lopez; C. A. Bolle; A. R. Papazian; N. Basavanhally; J. Lee; R. Fullowan; F. Klemens; J. Miner; A. Kornblit; T. Sorsch; L. Fetter; M. Peabody; J. E. Bower; J. S. Weiner; Y. L. Low · 2006