High throughput ion implantation systems in western electric

Jackson, J. H.; Bird, H. M.; Flemming, J. P.; Hofer, G. J.; McCallum, J. G.; Mostek, P. J.; Robertson, G. I.; Rodde, A. F.; Weissman, B.; Williams, N.

期刊名称Radiation Effects
作者Jackson, J. H.; Bird, H. M.; Flemming, J. P.; Hofer, G. J.; McCallum, J. G.; Mostek, P. J.; Robertson, G. I.; Rodde, A. F.; Weissman, B.; Williams, N.
卷第44卷
印刷ISSN0033-7579
文件大小1749.04KB
发表时间1979-01
DOI10.1080/00337577908245980
页码59-69

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High throughput ion implantation systems in western electric