A high current ion implanter with hybrid scanning
J. Camplan; J. Chaumont; R. Meunier; R. Graber; J.C. Rouge; R. Stocker; L. Wegmann
- 作者J. Camplan; J. Chaumont; R. Meunier; R. Graber; J.C. Rouge; R. Stocker; L. Wegmann
- 卷第171卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0029-554X
- 文件大小364.77KB
- 发表时间1980
- DOI10.1016/0029-554x(80)90497-8
- 页码245-250