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Deep levels in scanned electron-beam annealed silicon

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N. M. Johnson; J. L. Regolini; D. J. Bartelink; J. F. Gibbons; K. N. Ratnakumar

作者N. M. Johnson; J. L. Regolini; D. J. Bartelink; J. F. Gibbons; K. N. Ratnakumar
文件大小571.67KB
发表时间1980
DOI10.1063/1.91525

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