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Laser Crystallization of Deposited Silicon Films

Celler, G. K.; Leamy, H. J.; Aspnes, D. E.; Doherty, C. J.; Sheng, T. T.; Trimble, L. E.

期刊名称MRS Proceedings
作者Celler, G. K.; Leamy, H. J.; Aspnes, D. E.; Doherty, C. J.; Sheng, T. T.; Trimble, L. E.
卷第1卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1966.52KB
发表时间1980-1
DOI10.1557/proc-1-435