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Open waveguide plasma source

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G. Janzen; E. Räuchle

作者G. Janzen; E. Räuchle
卷第83卷
期第1期
印刷ISSN0375-9601
文件大小300.40KB
发表时间1981
DOI10.1016/0375-9601(81)90536-3
页码15-18

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