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The influence of bombardment conditions upon the sputtering and secondary ion yields of silicon

The influence of bombardment conditions upon the sputtering and secondary ion yields of silicon

A.E. Morgan; H.A.M. de Grefte; N. Warmoltz; H.W. Werner; H.J. Tolle

作者A.E. Morgan; H.A.M. de Grefte; N. Warmoltz; H.W. Werner; H.J. Tolle
卷第7卷
期第4期
印刷ISSN0378-5963
文件大小1139.24KB
发表时间1981
DOI10.1016/0378-5963(81)90084-2
页码372-392

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