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Epitaxial Growth of Aluminum Nitride on Sapphire Using Metalorganic Chemical Vapor Deposition

Morita, Mizuho; Uesugi, Norihiko; Isogai, Seiji; Tsubouchi, Kazuo; Mikoshiba, Nobuo

期刊名称Japanese Journal of Applied Physics
作者Morita, Mizuho; Uesugi, Norihiko; Isogai, Seiji; Tsubouchi, Kazuo; Mikoshiba, Nobuo
卷第20卷
期第1期
印刷ISSN0021-4922
电子ISSN1347-4065
文件大小1875.06KB
发表时间1981-1
DOI10.1143/JJAP.20.17
页码17-23