![PRE-ANNEALING EFFECTS ON AL METALLIZATION PROPERTIES IN HIGH DENSITY FeRAM DEVICE]()
PRE-ANNEALING EFFECTS ON AL METALLIZATION PROPERTIES IN HIGH DENSITY FeRAM DEVICECHO, K. W.; CHOI, J. H.; YU, H. S.; KWEON, S. Y.; YEOM, S. J.; KIM, N. K.; CHOI, E. S.; SUN, H. J.; HONG, S. K.; HONG, T. W.; KIM, I. H.; LEE, J. I.; UR, S. C.; LEE, Y. G.; RYU, S. L.; CHOI, S. K. · Integrated Ferroelectrics · 2006