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Aluminum Nitride Epitaxially Grown on Silicon: Orientation Relationships

Aluminum Nitride Epitaxially Grown on Silicon: Orientation Relationships

M. Morita; S. Isogai; N. Shimizu; K. Tsubouchi; N. Mikoshiba

作者M. Morita; S. Isogai; N. Shimizu; K. Tsubouchi; N. Mikoshiba
文件大小690.12KB
发表时间1981
DOI10.1143/JJAP.20.L173

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