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Crystallization of Amorphous Silicon Films by Pulsed Ion Beam Annealing

Gyulai, J.; Fastow, R.; Kavanagh, K.; Thompson, M. O.; Palmstrom, C. J.; Hewett, C. A.; Mayer, J. W.

期刊名称MRS Proceedings
作者Gyulai, J.; Fastow, R.; Kavanagh, K.; Thompson, M. O.; Palmstrom, C. J.; Hewett, C. A.; Mayer, J. W.
卷第13卷
电子ISSN1946-4274
文件大小853.33KB
发表时间1982-1
DOI10.1557/proc-13-455