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Ion implantation process modelling

Ion implantation process modelling

G Drozdy; T Lohner; P Revesz; K Tarnay; J Gyulai

作者G Drozdy; T Lohner; P Revesz; K Tarnay; J Gyulai
卷第33卷
印刷ISSN0042-207X
文件大小283.85KB
发表时间1983
DOI10.1016/0042-207x(83)90544-4
页码125-128

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