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Ion implantation damage in InP

Ion implantation damage in InP

Tong He Zhang; R.G. Elliman; G. Carter

作者Tong He Zhang; R.G. Elliman; G. Carter
印刷ISSN0167-5087
文件大小458.49KB
发表时间1983
DOI10.1016/0167-5087(83)90880-3
页码761-766

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