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Calibration of molecular drag vacuum gages

Calibration of molecular drag vacuum gages

McCulloh, K. E.

期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者McCulloh, K. E.
卷第1卷
期第2期
印刷ISSN0734-2101
文件大小546.03KB
发表时间1983
DOI10.1116/1.572065

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