Ion range statistics by a Fourier series : A. G. K. Lutsch. Microelectron. J.14 (1), 5 (1983)

• 卷第23卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0026-2714
• 文件大小110.49KB
• 发表时间1983
• DOI10.1016/0026-2714(83)90958-7