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Thermal oxidation of silicides

Thermal oxidation of silicides

Lie, L. N.; Tiller, W. A.; Saraswat, K. C.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Lie, L. N.; Tiller, W. A.; Saraswat, K. C.
卷第56卷
期第7期
印刷ISSN0021-8979
文件大小683.40KB
发表时间1984
DOI10.1063/1.334212

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