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Range distributions of MeV implants in silicon

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David C. Ingram; John A. Baker; David A. Walsh

作者David C. Ingram; John A. Baker; David A. Walsh
印刷ISSN0168-583X
文件大小394.32KB
发表时间1985
DOI10.1016/0168-583x(85)90582-8
页码361-365

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