An ion source with plasma generator
E. Yabe; S. Takeshiro; K. Sunako; K. Takayama; R. Fukui; K. Takagi; K. Okamoto; S. Komiya
- 作者E. Yabe; S. Takeshiro; K. Sunako; K. Takayama; R. Fukui; K. Takagi; K. Okamoto; S. Komiya
- 卷第6卷
- 印刷ISSN0168-583X
- 文件大小390.86KB
- 发表时间1985
- DOI10.1016/0168-583x(85)90620-2
- 页码119-122