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IIB-5 ultrashallow p+-n junctions suitable for VLSI CMOS

IIB-5 ultrashallow p+-n junctions suitable for VLSI CMOS

Carey, P.G.; Sigmon, T.W.; Press, R.L.; Fahlen, T.S.

作者Carey, P.G.; Sigmon, T.W.; Press, R.L.; Fahlen, T.S.
卷第32卷
期第11期
印刷ISSN0018-9383
电子ISSN1557-9646
文件大小342.93KB
发表时间1985
DOI10.1109/t-ed.1985.22319
页码2532-2533

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