Silicon Oxidation by Rapid Thermal Processing (RTP)
Hodge, A. M.; Pickering, C.; Pidduck, A. J.; Hardeman, R. W.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Hodge, A. M.; Pickering, C.; Pidduck, A. J.; Hardeman, R. W.
- 卷第52卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小375.27KB
- 发表时间1985-1
- DOI10.1557/proc-52-313