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Negative Ion Kinetics in RF Glow Discharges

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Gottscho, Richard A.; Gaebe, Carl E.

作者Gottscho, Richard A.; Gaebe, Carl E.
卷第14卷
期第2期
印刷ISSN0093-3813
电子ISSN1939-9375
文件大小2709.52KB
发表时间1986
DOI10.1109/tps.1986.4316511

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