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Evaporated aluminium nitride encapsulating films

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R. Bensalem; A. Abid; B.J. Sealy

作者R. Bensalem; A. Abid; B.J. Sealy
卷第143卷
期第2期
印刷ISSN0040-6090
文件大小585.45KB
发表时间1986
DOI10.1016/0040-6090(86)90382-2
页码141-153

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