On the Dynamic Annealing Mechanism in P+-Implanted Silicon
M. Berti; A. V. Drigo; G. Lulli; P. G. Merli; M. Vittori Antisari
- 作者M. Berti; A. V. Drigo; G. Lulli; P. G. Merli; M. Vittori Antisari
- 卷第94卷
- 期第1期
- 印刷ISSN1862-6319
- 文件大小778.80KB
- 发表时间1986
- DOI10.1002/pssa.2210940110
- 页码95-106