The thin-film reaction between Ti and thermally grown SiO2
Barbour, J. C.; Fischer, A. E. M. J.; van der Veen, J. F.
- 期刊名称Journal of Applied Physics
- 作者Barbour, J. C.; Fischer, A. E. M. J.; van der Veen, J. F.
- 卷第62卷
- 期第6期
- 印刷ISSN0021-8979
- 文件大小496.03KB
- 发表时间1987
- DOI10.1063/1.339433