Azide und Bisazide für hochauflösende Negativ-Photoresiste
- 作者Erika Sauer; Gudrun Schopf; Kerstin Czarnetzki; Kerstin Schuster; Christine Carius; Jürgen Bendig
- 卷第27卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0044-2402
- 文件大小189.74KB
- 发表时间1987
- DOI10.1002/zfch.19870270910
- 页码335-336
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