Comparison of microwave and lower-frequency discharges for plasma polymerization

• 作者R. Claude; M. Moisan; M. R. Wertheimer; Z. Zakrzewski
• 卷第7卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0272-4324
• 电子ISSN1572-8986
• 文件大小838.84KB
• 发表时间1987-12
• DOI10.1007/bf01030489
• 页码451-464