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Effects of misfit dislocations and thermally induced strain on the film properties of heteroepitaxial GaAs on Si

Lum, R. M.; Klingert, J. K.; Bylsma, R. B.; Glass, A. M.; Macrander, A.T.; Harris, T. D.; Lamont, M. G.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Lum, R. M.; Klingert, J. K.; Bylsma, R. B.; Glass, A. M.; Macrander, A.T.; Harris, T. D.; Lamont, M. G.
卷第64卷
期第12期
印刷ISSN0021-8979
文件大小917.11KB
发表时间1988
DOI10.1063/1.342004