Ion beam induced roughness and its effect in AES depth profiling of multilayer Ni/Cr thin films

• 作者A. Barna; P. B. Barna; A. Zalar
• 卷第12卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0142-2421
• 电子ISSN1096-9918
• 文件大小1111.25KB
• 发表时间1988
• DOI10.1002/sia.740120215
• 页码144-150