Damage production in hydrogen-implanted silicon
J. Lahtinen; A. Vehanen; E. Punkka; P. Hautojärvi; J. Keinonen; M. Hautala; E. Rauhala; V. Karttunen; A. Kuronen; J. Räisänen
- 作者J. Lahtinen; A. Vehanen; E. Punkka; P. Hautojärvi; J. Keinonen; M. Hautala; E. Rauhala; V. Karttunen; A. Kuronen; J. Räisänen
- 卷第12卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0142-2421
- 电子ISSN1096-9918
- 文件大小222.73KB
- 发表时间1988
- DOI10.1002/sia.740120513
- 页码325-326