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Impurity diffusion barrier for a-Si:H/SnO2 system

Yoshiyuki Shiratsuki; Keishi Kawabata; Motomu Sagawa; Seiichi Miyazaki; Masataka Hirose

作者Yoshiyuki Shiratsuki; Keishi Kawabata; Motomu Sagawa; Seiichi Miyazaki; Masataka Hirose
卷第115卷
印刷ISSN0022-3093
文件大小179.43KB
发表时间1989
DOI10.1016/0022-3093(89)90367-0