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High throughput vacuum chemical epitaxy

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L.M. Fraas; E. Malocsay; V. Sundaram; R.W. Baird; B.Y. Mao; G.Y. Lee

作者L.M. Fraas; E. Malocsay; V. Sundaram; R.W. Baird; B.Y. Mao; G.Y. Lee
卷第105卷
印刷ISSN0022-0248
文件大小907.03KB
发表时间1990
DOI10.1016/0022-0248(90)90336-j
页码35-45

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