3D CMOS devices in recrystallized silicon
R. Buchner; K. Haberger; S. Seitz; J. Weber; P. Seegebrecht; W. van der Wel
- 作者R. Buchner; K. Haberger; S. Seitz; J. Weber; P. Seegebrecht; W. van der Wel
- 卷第21卷
- 期第6期
- 印刷ISSN0026-2692
- 文件大小2525.46KB
- 发表时间1990
- DOI10.1016/0026-2692(90)90031-w
- 页码13-20