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Slope etching of silicon dioxide
S. Kal; S. Haldar; S.K. Lahiri
作者
S. Kal; S. Haldar; S.K. Lahiri
卷
第30卷
期
第4期
印刷ISSN
0026-2714
文件大小
348.84KB
发表时间
1990
DOI
10.1016/0026-2714(90)90177-o
页码
719-722
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