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Epitaxy of metal silicides

Epitaxy of metal silicides

H. Von Känel; J. Henz; M. Ospelt; J. Hugi; E. Müller; N. Onda; A. Gruhle

作者H. Von Känel; J. Henz; M. Ospelt; J. Hugi; E. Müller; N. Onda; A. Gruhle
卷第184卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小1067.06KB
发表时间1990
DOI10.1016/0040-6090(90)90425-d
页码295-308

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