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Surface morphology of TiSi2 on silicon

Surface morphology of TiSi2 on silicon

Hyeongtag Jeon; R.J. Nemanich

作者Hyeongtag Jeon; R.J. Nemanich
卷第184卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小472.62KB
发表时间1990
DOI10.1016/0040-6090(90)90432-d
页码357-363

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