Laser plasma x-ray lithography using novolak resists

• 作者M. Chaker; S. Boily; H. Lafontaine; P.P. Mercier; J.F. Currie; J.C. Kieffer; H. Pepin
• 卷第11卷
• 印刷ISSN0167-9317
• 文件大小265.56KB
• 发表时间1990
• DOI10.1016/0167-9317(90)90121-9
• 页码313-316