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Carbon implantation in InGaAs and AlInAs

Pearton, S. J.; Hobson, W. S.; Kinsella, A. P.; Kovalchick, J.; Chakrabarti, U. K.; Abernathy, C. R.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Pearton, S. J.; Hobson, W. S.; Kinsella, A. P.; Kovalchick, J.; Chakrabarti, U. K.; Abernathy, C. R.
卷第56卷
期第13期
印刷ISSN0003-6951
文件大小593.46KB
发表时间1990
DOI10.1063/1.102531