Self Annealing Ion Implantation in thin Silicon Films
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Rubio, J. D.; Vijay, R. P.; Hart, R. R.
- 卷第201卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小248.79KB
- 发表时间1990-1
- DOI10.1557/proc-201-253
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